반도체 제조업체의 3D 로드맵 가속화, 램리서치 GAA 개발 지원 혁신적인 고선택비 식각 장비 포트폴리오 출시
램리서치(NASDAQ: LRCX)는 오늘 혁신적인 웨이퍼 제조 기술과 새로운 케미스트리 솔루션을 적용하여 GAA(Gate-All-Around) 트랜지스터 구조의 개발을 지원하는 고선택비 식각 장비 제품군(Selective etch products)을 발표했다.Argos®, Prevos™, Selis®의 세 가지 신제품으로 구성된 램리서치의 고선택비 식각 장…
권경욱
