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플라즈마 식각 신기술 적용, 램리서치 센스아이(Sense.i) 플랫폼 발표
램리서치가 전 세계 반도체 장비 중 식각 공정 분야를 주도하고 있는 키요(Kiyo®)와 플렉스(Flex®)에 이어 새로운 차원의 혁신적인 식각 기술 제품을 공개했다.반도체 업계에 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 공급하는 램리서치(Lam Research)가 새로운 플라즈마 식각 기술을 제공하는 식각 공정 반도체 장비인 센스아이(Sense.i™) 플랫폼…
권경욱