반도체 업계에 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스를 공급하는 램리서치(Lam Research)가 반도체 공정에서 램리서치의 자가 유지보수 장비를 사용해 생산성에서 새로운 산업 모범 사례를 만들었다. 램리서치의 식각 공정 플랫폼으로 협력을 맺은 반도체 제조사는 1년 간 생산 중단 없이 장비를 가동한 것으로 확인됐다.반도체 공정 환경에서 세정을 위한 가동 중…